KOSAKA小坂研究所精细形状测量机ET8000

可以高精度自动测量样品尺寸高达 2200 x 2600 mm 的大型工件。还有一个加载/卸载样本的选项。

  • 用于大型工件的全自动测量。

最大样本量2200×2600毫米
再现性1σ1nm
测量范围X：10毫米 Y：10毫米
解决Z：0.1nm X：0.1μm
测量功率0.5μN～500μN