KOSAKA小坂研究所精细形状测量机ET4000A

这是一款全自动微型形状测量机，具有出色的精度、稳定性和功能，非常适合测量 FPD 板、晶圆、硬盘等的微型形状、台阶和粗糙度。您还可以从多种型号中进行选择，以满足您的需求。

  • ET4000A...多功能全自动显微形状测量机

  • ET4000L...可处理大尺寸的全自动微型形状测量机。

  • ET4000M...一款合理、高性能的通用微型形状测量机

最大样本量210×210毫米、300×400毫米
再现性0.5nm以内1σ
测量范围Z：100μm X：100mm（Y移动量：150～400mm）
解决Z：0.1nm X：0.01μm
测量功率0.5μN ～ 500μN