KOSAKA小坂研究所精细形状测量机ET200A ET200A-D ET200A-3D它非常适合二维表面粗糙度分析和台阶测量，具有高精度、高分辨率和出色的稳定性，并且还支持具有微小测量力的柔软样品表面。
- ET200A...表面粗糙度分析和台阶测量的理想选择
- ET200A-D...配备电动Y轴单元的机器
- ET200A-3D...三维表面粗糙度分析和台阶测量的理想选择
| 最大样本量 | Φ160×厚度52mm |
|---|---|
| 再现性 | 0.3nm以内1σ |
| 测量范围 | Z：600μm X：100mm |
| 解决 | Z：0.1nm X：0.1μm |
| 测量功率 | 10μN～500μN |