KOSAKA小坂研究所精细形状测量机NT1520最适合自动配方测量，例如薄膜厚度和阶跃测量！

  • 宽范围检测器...1300μm
  • X、Y 方向双轴测量...配备电动 Y 轴单元的机器
  • ET200A-3D...三维表面粗糙度分析和台阶测量的理想选择
最大样本量Φ220 x 厚度10mm *适用于6、8英寸晶圆
再现性0.3nm以内1σ
测量范围Z：1300μm X：205mm Y：280mm
解决Z：0.1nm X：0.01μm Y：0.1μm
测量功率30μN～600μN