KOSAKA小坂研究所FP3030 小孔3D形状测量机
FP3030
| 最小测量孔径 | φ10μm～ |
|---|---|
| 最大测量长度 | 300×300×300μm |
| 测量分辨率 | 10纳米 |
| 测量功率 | 0.1μN以下 |
| 运动轴（X、Y、Z） | 305×370×52毫米 |
| 最大样本量 | φ300mm t=50mm |
KOSAKA小坂研究所FP3030 小孔3D形状测量机
KOSAKA小坂研究所FP3030 小孔3D形状测量机FP3030最小测量孔径φ10μm～最大测量长度300300300μm测量分辨率10纳米测量功率0.1μN以下运动轴（X、Y、Z）30537052毫米最大样本量φ300mm t=50mm