KOSAKA小坂研究所小孔3D形状测量机FP-Labo

FP-Labo

最小测量孔径φ10μm～
最大测量长度300×300×300μm
测量分辨率10纳米
测量功率0.1μN以下
运动轴（X、Y、Z）50×50×52毫米
最大样本量φ160mm t=50mm