KOSAKA小坂研究所Chirp波形标准件SS-E 


  • 用于高精度/超精密表面纹理测量的校准标准件

  • 定制标准件：可加工成所需形状。 （需咨询）


可加工表面凹凸规格

规格振幅A：1μm调制波长
λ：25μm至8.0mm调制
正弦波振幅A：最小值：0.5μm，最大值：20μm 调制波长
λ：受振幅限制
步深度 D：最小：0.5μm，最大：20μm
宽度 W：最小：70μm
其他的三角波、锯齿波、弧槽波、随机波等

正弦波+正弦波标准件SS-M1

校准项目Ra、Rz、RSm
优点不同的振幅形状允许校准适应使用范围
⇒提高校准可靠性
正弦波振幅10μm，波长100μm
振幅2μm，波长100μm

正弦波+步进标准件SS-M20

校准项目Ra、Rz、RSm、步长 PP
优点用一个标准件即可进行步进校准和 Ra 校准
⇒ 减少不确定性并提高校准工作的效率
正弦波振幅10μm，波长100μm
步深度10μm，槽宽100μm

正弦波+步进标准件SS-M21

校准项目Ra、Rz、RSm、步长 PP
优点用一个标准件即可进行步进校准和 Ra 校准
⇒ 减少不确定性并提高校准工作的效率
正弦波振幅5μm，波长100μm
步深度10μm，槽宽100μm

Chirp波形标准件SS-M30

校准项目Pa校准（用于研发领域）
优点检查各种滤波器的截止特性和探测器的跟踪特性等。
啁啾波振幅1μm，波长25μm至8.0mm对数调制